Das Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft und Kultur hat mit GZ. 23.600/10-VII/A/3/2000 vom 10. Dezember 2000 die Änderung des die Institutsgliederung betreffenden Satzungsteiles (kundgemacht unter Nr. 238-1997/98) wie folgt genehmigt: Das Institut für Feinwerktechnik wird in Institut für Mikro- und Feinwerktechnik (Institute for Micro Technique and Precision Engineering) umbenannt.
Die neue Kurzbeschreibung der Institutsinhalte in Lehre und Forschung des Instituts für Mikro- und Feinwerktechnik (Institute for Micro Technique and Precision Engineering) lautet:
Lehre und Forschung auf dem Gebiet der Mikro- und Feinwerktechnik, der präzisions- und mikrotechnischen Konstruktionen und Verfahren einschließlich Handhabungs- und Montagetechniken; Mechatronik, Mikroelektromechanische Systeme (MEMS), Konstruktionsmethodik, Tribologie (insbesondere Mikrotribologie und Biotribologie), Ultrapräzisionsfertigungstechnik.